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氣體質量流量于實驗室行業中的應用

發布時間:2022-05-16      點擊次數:71

   公司簡介 

    青島芯笙微納電子科技有限公司位于青島市嶗山區,毗鄰山東大學青島校區、北航青島微電子研究院、中科院青島能源所等研究機構,是一家專業從事氣體流量傳感器和流量測控儀表開發的高新技術企業,公司團隊核心成員來自新加坡、比利時、中科院等著名MEMS研究機構。公司與新加坡科技局微電子研究院、上海微技術工業研究院等單位建立了長期戰略合作關系,與山東大學和北航微電子研究院在新型傳感器芯片開發方面具有密切合作關系。

 

    青島芯笙將繼續專注在微小氣體流量測控領域,致力于為客戶提供高品質產品和專業化服務,以質量和信譽為本加強管理,為推動國產分析儀器、半導體裝備的發展作出貢獻。

   制造和標定平臺
     制造平臺具有80余臺傳感器自動化生產設備和可靠性測試設備以及9000平米千級無塵封測車間,具備ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質管理和制造認證。

    在標定和校準環節,擁有活塞標準流量裝置(精度0.3%)、音速噴嘴標準流量裝置(精度0.13%)、美國福祿克Molbox流量設備(精度0.125%)等多臺設備,確保產品精度。

 

概述:結合國家近兩年對科研、高校、研究院所等行業的持續投入,高精尖用氣設備越來越多,用氣量也逐年增加,對氣體流量的精確計量控制需求也越來越多。青島芯笙以微機電系統(MEMS)為基礎,推出多款適用于實驗室領域的高性能氣體質量流量計(MFM) 和氣體質量流量控制器(MFC)產品。

 

   合作伙伴

PART01

實驗室常用氣體的分類

、根據用途分類

一是能源動力氣體。在實驗室中,部分氣體用來提供能源,如天然氣、煤氣、液化氣、氫氣、乙炔等,有的提供動力,如壓縮空氣、氮氣。

二是試驗用原材料。實驗室常用部分氣體作為試驗用原材料,如化學反應實驗使用的氯氣、一氧化氮氣體、氧氣、氫氣等。

三是實驗儀器輔助用氣。實驗室中部分試驗或儀器需要高純保護氣體,如氣相色譜、氣質聯用、原子吸收、ICP等精密儀器使用的高純不燃氣體(氮氣、二氧化碳)、惰性氣體(氦氣、氬氣)、助燃氣體(氧氣)等。

 

二、依據化學性質分類

一是有毒有害氣體。具有毒性和腐蝕性。

二是易燃易爆氣體。具有易燃燒性和化學爆炸危險性,如氫氣、乙炔等,有的易燃易爆氣體還具有一定毒性。

三是助燃氣體。具有助燃能力,但自身不燃燒,此類氣體的存在增大火災的危險性,如氧氣等。 

四其他氣體。不具備上述三種性質的氣體,如惰性氣體、二氧化碳等。

 

 

PART02

常規分析實驗室儀器的一般用氣配備

  1. 氣相色譜:H2   N2   He   Air

  2. 液相質普:N2   CDA

  3. 原子吸收:火焰法:Air+C2H2  /  N20+C2H2  石墨爐法:Ar+02  /  Ar+Air

  4. VOC檢測:Air   Ar   He

  5. ICP-MS: (N2)  Ar  Air (He)

  6. 液質聯用:N2

  7. X熒光光譜儀:Ar/CH4   He

  8. 等離子發射光譜:N2   Ar

  9. 元素分析儀:O2   He

  10. 碳硫分析儀:O2   N2

  11. 測汞儀:Ar Air

  12. 測硫儀:O2

  13. 發熱量測定儀:O2

  14. 離子質譜:He   離子色譜:N2

  15. 四極桿和TFO:He

  16. 生物反應器:Air   CO2    O2    N2

  17. 三重四極:N2   H2

  18. 超臨界薈萃:CO2

  19. 微波多態合成:N2  Ar

  20. 核磁共振儀:N2   CDA   He

  21. 化學合成:CDA

  22. 球礦團還原-膨脹試驗儀:N2   煤氣LPG(流量較大,主管至少使用3/8”)

  23. 太陽能電池反應用氣:Ar  N2  He  NH3  CF4  N2O  H2  SiH4

                          SiH2CL2  SiH2CL3  SiHCL4等

 

 

青島芯笙MFM-50系列氣體質量流量計專門用于氣體流量的高精度測量。該系列流量計采用業內先進流量傳感芯片,結合航空鋁材拋光氣體流道設計,配合公司核心的標定和補償算法,實現對各類潔凈干燥、無腐蝕性氣體的高精度流量測量。該產品20SLM以內典型精度為1%,50SLM典型精度為1.5%,量程比均優于100:1, 此系列產品的量程從100SCCM到800SLM可選(其它量程可咨詢定制),并配有液晶屏顯示、數字和模擬輸出,方便用戶現場和遠程調試。該產品成本低、易安裝、不需要額外溫度和壓力補償,適用于實驗室行業惰性氣體計量。

 

 

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