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全新MFC產品5月20日與你相見

發布時間:2022-04-25      點擊次數:121

青島芯笙近期推出多款氣體質量流量計和質量流量控制器產品,成功打通從MEMS芯片到流量檢測儀表和算法的全鏈條核心技術,成為青島市僅有的幾家掌握MEMS核心芯片技術的高科技企業之一。

隨著國家對國產儀器和半導體設備的重視和支持,國內分析儀器產業、半導體裝備產業實現了快速發展。作為分析儀器和半導體裝備的核心部件,氣體質量流量計/控制器目前仍以進口為主,國產化替代需求迫切。不同于傳統的差壓、渦街等原理的體積型流量計,MEMS氣體質量流量計基于熱傳導原理對氣體質量流量進行高精確測量,該類型產品不受溫度和壓力等環境參數影響。

青島芯笙S500系列氣體質量流量控制器,具有獨特的氣體流道設計,可實現靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數字和模擬控制方式,并配備工業級顯示屏,方便客戶現場調試和配置。



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